Edição Nº 98 - Maio/Junho de 2019 - Ano XVIII
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Filtragem e microfiltragem para microeletrônicos no Brasil


Filtragem e microfiltragem para microeletrônicos no Brasil



por Cristiane Rubim

Existem diversos tipos de sistemas de filtração e microfiltração usados na indústria de microeletrônicos. E são vários tipos de fluidos utilizados também: desde água ultrapura, solventes ácidos e alcalinos fortes, gases estéreis, salas limpas com controles de partículas e microbiológicos até vapores e fluidos com altas temperaturas. “Em todos esses processos, o passo a passo dos sistemas baseia-se que as primeiras etapas retêm as partículas e/ou micropartículas sólidas e os filtros finais retêm os microrganismos vivos ou mortos, pois os fragmentos celulares destes microrganismos são contaminantes nos processos de fabricação de microcomponentes eletrônicos” – explica Rogério Jardini, engenheiro químico especializado em filtração industrial e residencial.
Os avanços em filtração e microfiltração atendem às diversas exigências de trabalho. “São produtos desenvolvidos para suportar as condições agressivas de uso destes processos, seja com bases e ácidos fortes, temperaturas elevadas e ausência de contaminantes e microrganismos” – salienta Jardini.


Particulado
Quanto à qualidade do ar, o processo de filtragem de particulado na indústria microeletrônica se assemelha muito com o da indústria farmacêutica. Hairton Oliveira, engenheiro de aplicação sênior do Filtration Group/LAG divisão filtração da Parker Hannifin, enfatiza que o projeto do sistema de ar condicionado deve prever os controles de velocidade, pressão, temperatura e umidade, além de usar estágios de filtragem para os particulados. Inicia-se para ar externo com classes G ou M e segue para a filtração intermediária classe F (conf. EN779:2012), até o filtro final Hepa ou Ulpa (EN1822:2009), que vai desde H-13 até U-16, dependendo do grau de pureza do ar exigido pelo produto.



Molecular (gases)
No processo de filtragem molecular, segundo Oliveira, como até mesmo os filtros Ulpa mais eficazes não coletam as moléculas de gás, os filtros de fase gasosa são necessários para evitar a contaminação molec ...


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